Text
Pengaruh Variasi Kecepatan Spin Coating Terhadap Morfologi Permukaan dan Fasa Kristal Thin Film TiO2 Yang Dideposisi Diatas Substrat Kaca
Penelitian ini membahas tentang pengaruh variasi kecepatan spincoating terhadap morfologi permukaan dan fasa kristal thin film TiO2 yang dideposisi diatas substrat kaca. Thin film disintesis menggunakan metode sol-gel dengan prekursor TiCl3, etanol, dan etilen, glikol, kemudian dideposisi melalui teknik chemical solution deposition (CSD) pada variasi kecepatan putar 3000, 4000, dan 5000, rpm. dengan waktu 60 detik serta proses annealing pada suhu 650 C.
Tidak tersedia versi lain